空气过滤器是为人类呼吸保护用具而被开发的，一次世界大战期间， 出现了以石棉纤维为滤料的防毒气面具。后来美国成立了专门的过滤纸发开组， 开发出木纤维、石棉、描画的混合纤维滤料。随后以玻璃纤维为滤材的高效过滤器（High Efficiency particle air filter）在美国问世，用于房间的空气净化。

　　七十年代，采用超细玻璃纤维过滤材料的高效过滤器（HEPA）对大于等于 0.3 μm 的威力过滤效率高达 99.9998%。随着大规模集成电路的发展，日本又开发出针对0.1μm 的微粒的超高效过滤器，其过滤效率达到了99.9995%以上。美国IEST 把该过滤器命名为 ULPA。和 HEPA 相比，ULPA 过滤效率更高。ULPA 过滤纸的研制成功和开发利用，为集成电路、自动化仪表和航天航空等尖端技术的飞跃发展， 提供了对所需空气进行高度净化的工作环境。